气浮轴承和电磁直驱的定位平台，是 种新型的超精密运动机构，它很好的克服了传统的以旋转和滚珠丝杠驱动的定位精密平台的传动环节多、响应滞后大、存在摩擦、精度差等缺点，在航空航天、3D加工、半导体、光刻设备、精密测量和生物医学等众多领域中具有十分广泛的应用
由于该精密定位平台存在复杂的气浮非线性效应，传统的理论方法不能解决这类超精密运动机构的系统动力学及定位控制的难题。
利用气浮轴承润滑变分方法和有限元数值分析方法，计算并获得精密气浮轴承的动静特性的变化规律、气体流场和压力场的分布，揭示了气腔形状和气浮轴承内表面形状对气浮轴承特性的要求。
智德的气浮轴承平台进行了参数分析和实验研究.结果表明:气浮刚性的增大和阻尼的存在更有利于改善平台的定位精度,在受外界干扰较大且存在较大非线性情况下,定位平台仍能达到较好的定位精度。
[详细介绍]