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高精密气浮平台空气轴承大理石运动系统
超精密气浮平台 特性 超高精密：分辨率10nm,重复精度50nm,定位精度：100nm 超稳定性：花岗石机台，气浮导轨，直线电机驱动，匀速
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2020-09-22 |
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纳米超气浮运动大理石平台
纳米超气浮运动大理石平台气浮平台特征：双驱五轴运动采用激光干涉仪做位置反馈。定位精度与重复定位精度纳米 大速度1000mm/s
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2020-09-22 |
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